DIN 50454-1-1991 半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物半导体单晶中错位腐蚀班点密度的测定.砷化镓
作者:标准资料网
时间:2024-05-14 00:37:56
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【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology;determinationofthedislocationsetchpitsdensityinmonocrystalsofIII-V-compoundsemiconductors;galliumarsenide
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物半导体单晶中错位腐蚀班点密度的测定.砷化镓
【标准号】:DIN50454-1-1991
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1991-11
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:试验;英语;方向;半导体;单晶;缺陷与故障;表面;错位置;砷化镓;错位腐蚀斑;蚀斑密度;刻蚀技术;不合格的材料;定义;腐蚀检查;蚀刻;半导体工艺;材料试验
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:H83
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:4P;A4
【正文语种】:德语
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物半导体单晶中错位腐蚀班点密度的测定.砷化镓
【标准号】:DIN50454-1-1991
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1991-11
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:试验;英语;方向;半导体;单晶;缺陷与故障;表面;错位置;砷化镓;错位腐蚀斑;蚀斑密度;刻蚀技术;不合格的材料;定义;腐蚀检查;蚀刻;半导体工艺;材料试验
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:H83
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:4P;A4
【正文语种】:德语
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