GB/T 14604-1993 电子工业用气体 氧
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基本信息
标准名称: | 电子工业用气体 氧 |
英文名称: | Gases for electronic industry. Oxygen |
中标分类: | 化工 >> 其他化工产品 >> 工业气体与化学气体 |
ICS分类: | 化工技术 >> 化工产品 >> 工业气体 |
替代情况: | 被GB/T 14604-2009代替 |
发布部门: | 国家技术监督局 |
发布日期: | 1993-08-26 |
实施日期: | 1994-07-01 |
首发日期: | 1993-08-26 |
作废日期: | 2010-05-01 |
主管部门: | 国家标准化管理委员会 |
归口单位: | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
起草单位: | 化工部西南化工研究院 |
出版日期: | 1900-01-01 |
页数: | 7页 |
适用范围
本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求,检验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。电子工业用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻和剥离。也可用于光导纤维。
前言
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引用标准
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所属分类: 化工 其他化工产品 工业气体与化学气体 化工技术 化工产品 工业气体
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