作者:标准资料网 时间:2024-05-26 22:27:16   浏览:8533   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis-Secondary-ionmassspectrometry-Determinationofboronatomicconcentrationinsiliconusinguniformlydopedmaterials
【原文标准名称】:表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
【标准号】:ISO14237-2010
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2010-07
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际标准化组织(IX-ISO)
【起草单位】:ISO/TC201
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:硼;校准;化学分析和试验;浓缩值;晶体;含量测定;掺杂剂;精整;公式;质谱学;定量分析;次级离子质谱分析法;硅;光谱测定法
【英文主题词】:Boron;Calibration;Chemicalanalysisandtesting;Concentrationvalues;Crystals;Determinationofcontent;Dopingagents;Finishes;Formulae(mathematics);Massspectrometry;Quantitativeanalysis;Secondary-ionmassspectrometry;Silicon;Spectrometry
【摘要】:ThisInternationalStandardspecifiesasecondary-ionmassspectrometricmethodforthedeterminationofboronatomicconcentrationinsingle-crystallinesiliconusinguniformlydopedmaterialscalibratedbyacertifiedreferencematerialimplantedwithboron.Thismethodisapplicabletouniformlydopedboronintheconcentrationrangefrom1×1016atoms/cm3to1×1020atoms/cm3.
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_40;71_040_50
【页数】:26P;A4
【正文语种】:英语